弯管抛光机实现超精密抛光的设备条件
精密加工机床本身应具有高的精度、刚度、稳定性及自动化的性能。因此为获得纳米级精度的超光滑无损伤加工表面.超精密双面抛光机对其本身的精度及系统的性能要求也非常高。总结国外的高精度双面抛光机设备,优化设计后的机床应具有以下性能:
(1)高的运动精度和稳定性;
(2)有可控的工件运动轨迹,柔性启动、停止;
(3)能精密控制加载过程;
(4)具有自动化微机控制系统;
(5)实现抛光盘的超精密平面修整。
弯管抛光机为使超精密双面抛光机具有以上性能,同时考虑传统双面抛光机存在的问题,从机床结构方面提出了如下的实现方案:
(1)采用四个变频电动机分别拖动上下抛光盘、太阳轮、内齿圈,无级调速,软启动、软停止,使加工平稳可靠,冲击小;
(2)采用超精密液体静压轴承的回转主轴系统及缩短传动链,提高机床的运动精度;
(3)采用球头轴承浮动连接及数字阀控制气动伺服加载系统的上盘结构,保证加载均匀并精密控制加载过程;
(4)改进抛光盘的修整方法,提高加工精度;
(5)采用花岗岩工作台面及封闭式龙门箱形的主体式结构,提高机床的刚度及稳定性,改善机床工作环境。