敦煌佛教活动的起始
北周取代西魏后，继续在敦煌设置瓜州，并任命建平公于义继任瓜州刺史（约565～576 年）。于义与东阳王元荣一样，十分崇佛。在其任职期间，大兴修窟造像。也正是在东阳王、建平公等的带动下，敦煌的佛教日益兴盛。
早在西汉末东汉初，佛教便经由西域传入祖国内地，敦煌遂成为最早接触佛教的地区之一。而佛教在敦煌民间的大流行则开始于西晋末年、十六国时期。此时期，战争频仍，社会动荡，人民生活在水深火热之中。为祈求来生的幸福，人们纷纷求助于佛教。同时，一些社会上层人士的崇佛也对佛教在敦煌的发展起到了推波助澜的作用。
十六国时，河西地区的佛教以译经与讲经为主，同时石窟寺的开凿也兴盛起来。被称为“敦煌菩萨”的竺法护，自晋武帝时便游历西域诸国，通晓36国语言，世居敦煌，在敦煌组织了自己的译场。《开元录》载其共译经175部354卷，《高僧传》称他为“佛教入中华以来，译经最多”的人。这之后的鸠摩罗什与昙无谶亦是著名的译经大师。
鸠摩罗什（344～413），龟兹（今新疆库车）人，前秦建元二十年（384）苻坚派大将吕光进攻西域得胜东归时，带鸠摩罗什到达凉州，据传罗什一行途经敦煌时，所乘白马病死，遂葬马并在其上建塔，今敦煌仍遗留白马塔胜迹。罗什在凉州从事译经多年，此后又入长安，继续译经。后人将他和唐玄奘、义净并称为古代的三大翻译家。
除了在译经上取得较大成就外，河西佛教的兴盛还体现在石窟寺的大量建造上。河西地区现存的石窟寺之多，在全国是十分罕见的。这些石窟寺许多始建于十六国时期，尤其是著名的莫高窟，就是在十六国时期开凿的。据武周圣历元年《李怀让重修莫高窟佛龛碑》记载，公元 366 年（前秦建元二年）一个叫乐僔的禅僧云游到敦煌，忽然看见三危山上金光万道，仿佛有千万个佛在金光中显现，乐僔认为是佛的昭示，于是他便开凿了第一个石窟。此后不久，又有一位叫法良的禅师，在乐僔所开石窟旁又开凿了一窟。然而，由于时代久远与风沙侵蚀，这两个石窟已无法考求。据今人研究，现存确知为十六国时期的洞窟大约有九个，它们的编号分别为 267、268、269、270、271、272、273、274、275 。
北魏时期，敦煌石窟与寺塔继续兴建。《魏书·释老志》言：“敦煌地接西域，道俗交得其旧式，村坞相属，多有塔寺”。反映了敦煌石窟寺修建的兴盛。太武帝拓拔焘时虽有灭佛事件，但对敦煌佛教的发展似乎影响不大。北魏后期，元荣任瓜州刺史期间大兴佛事，出资造经两百多部，并在莫高窟掀起了造窟高潮。莫高窟现存北魏末年至西魏时期佛窟10个，都与元荣有直接关系。
北周时期瓜州刺史建平公于义，也是一个虔诚的佛教徒。他在任期间也进行了大规模的开窟造像活动。其中北周修建的最大石窟428窟，就是于义所建。