热蒸发镀膜法,又可以叫真空蒸发镀膜法,它就是指在真空中对镀膜材料进行加热,使之在极短时间内发生蒸发,然后使它沉积在基材表面,从而形成镀膜层。镀膜层的质量,主要是受到镀膜室真空度、镀膜材料蒸发度、蒸发距离、以及基材表面的温湿度和状态等这些因素的影响。
磁控溅射镀膜法,又可以叫高速低温溅射镀膜法,就是在真空中充入惰性气体,同时在基材表面上加上高压直流电,从而来激发惰性气体,使之产生等离子体。而等离子体,就能把基材表面的原子吸出来,在基材表面沉积。
这两种真空电镀,各有各的特点。热蒸发镀膜法,它的加热温度不能太高,因此主要是用于铝等熔点较低的金属的真空电镀。磁控溅射镀膜法,因为具有结合力强、镀膜层密度性高且均匀等优点,所以主要是用于高熔点金属、合金以及金属化合物的真空电镀,但加工成本要比热蒸发镀膜法高。
处理以上这两种方法,其实还有别的方法,比如电晕气相沉积法、化学气相沉积法以及离子镀等多种真空镀膜方法,其他方法细解以后会说到。