更精确地合成半导体


  物理学家组织报道,美国能源部的一项新技术,解开了化学浴沉积的分子作用之谜,有助于开发更好控制和更精确的化学合成工艺。

  X射线吸收近边结构(XANES: X-Ray Absorption Near Edge Structure)光谱是众所周知的一种通用而强大的技术,可检测任何物质的微观结构,从结晶固体到非结晶体材料,甚至液体。它极端敏感,可作为一个理想的工具,探测各种化学反应的动力学。

  实验者使用的是美国能源部科学办公室阿格涅(Argonne)先进光子源,最近,他们演示了一项新的技术,也是有关XANES的,这项技术打开了一扇窗口,揭示了人们很少理解的一项技术,就是材料沉积技术。这些进展,将鼓励开发更好控制和更精确的化学合成技术,用以合成半导体和其他纳米材料应用,这项技术很有价值,根据演示,可以把XANES光谱学扩展到其他实验领域。

  化学浴沉积(CBD:chemical bath deposition)广泛用于实验室和工业界,所创造的薄膜和纳米结构,可用于半导体和光伏电池,但它的实际分子作用,仍有些神秘。这有些限制了它的效用,精确裁制CBD产品是不可能的,因为没有一个清晰的认识,也就不能清晰地控制CBD的力学性能。德瑞索大学(Drexel University)和圣母大学(Notre Dame University)的科学家取得的成果,是首次详细考察了CBD怎样在分子水平上运作,他们使用了XANES光谱学,用以观察形成中的氧化锌纳米线。这项工作发表在2010年十月份的《材料化学》杂志上。

  CBD始于一种水溶液,其化学前体中含有的成分,可形成所需的薄膜结构。但由于前体化学组分往往容易稀释在溶液中,因此,确认和分离它们,检测它们的活动,在沉积过程中就成为一项艰巨的挑战。“很难找到实验技术,来评估不同的物质,就是你需要测量的不同物质,”主要研究者,德瑞索大学的杰森·巴克斯特(Jason Baxter)说,“这引起一些人批评CBD,说它过于依赖组分,这样,它很难采取一种条件,而说在其它情况下会发生什么。”XANES证明是一扇理想的窗口,可以进入CBD程序。“它有很高的灵敏度,测量的组分可以很稀,”巴克斯特说。“所以,我们能够观察CBD,准确程度是人们之前不可能达到的。”

  研究人员使硝酸盐(zinc nitrate)溶液和环六亚甲基四胺(HMTA: hexamethylenetetramine)处于不同的温度和压力,当然是放置在客户定制的微型反应器装置中,以诱导氧化锌纳米线生长,观察反应时采用的是XANES光谱学,就是材料研究合作使用小组(MR-CAT:Materials Research Collaborative Access Team)的光束线10-ID,就用的是先进光子源(Advanced Photon Source)。巴克斯特指出,一种独特的优点使XANES有益于前的工作:“它也有很好的时间分辨率,事实上,我们可以实时观察反应进程。每一分钟,我们都可以采用一套新数据,考察反应的动力学。”

  有一个未解决的问题,研究者们都在探寻答案,就是HMTA在氧化锌CBD过程中的具体作用。以前的研究表明,HMTA可能分解成中间形态,提供原材料,形成氧化锌膜,也许甚至连接到溶液中的锌离子,或者,它的作用可能仅仅是一种酸碱度缓冲剂,用以促进反应。

  这第一种观点来自XANES技术,它表明,HMTA加热时慢慢分解,释放出氢氧化物离子,与锌离子反应,形成氧化锌。这样缓慢释放氢氧化物,还有一种效应,就是尽可能地减少氧化锌饱和度,从而控制溶液pH值。

  “HMTA释放氢氧化物,速度适宜,正好在临界线,在这一临界线,你主要是培育氧化锌,采用的培养基,沉淀最小,”水巴克斯特说。

  研究小组观察到,生长的氧化锌纳米线,是出自硝酸盐和HMTA前体,温度90°C,两小时后就长出来,具有代表性的六角形横切面,直径300–500纳米。

  他们也使用主成分分析(PCA)技术,获得定量数据,表现被测组分在CBD过程中的情况。这表明,氧化锌纳米线生长,始于直接结晶,是从前体材料结晶,不需要任何长寿的中间体。酸碱缓冲剂是由HMTA提供,有助于避免氧化锌在溶液中过量沉淀,实现可控制地生长纳米线结构。

  这些新见解,探讨了CBD的机制,将鼓励开发控制更好和更精确的化学合成方法,用于半导体和其他纳米材料应用。

  这项工作另外的价值,是证明可以扩展XANES光谱学到其他领域。

  “我认为,这篇论文中更广泛运用的部分,实际上是把XANES光谱学应用到一个新的系统,”巴克斯特说。

  他和他的研究小组计划扩展他们的工作,研究其他CBD化学和过程。“实际上,你可以看到,它生长时发生了什么,”他说。“这提供了许多信息,都是有关这个过程的。我认为,这就是令人兴奋的地方。”